特許
J-GLOBAL ID：200903098215557869
表面形状測定装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139716
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347227
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】 光走査方向に平行な溝等の奥にある被測定物の表面形状でも適確に測定し得る表面形状測定装置および方法を提供する。【構成】 光走査手段1から被測定物4に光点を投光して走査し、光走査面内に設けられた光点位置検出手段2によって被測定物4からの反射光を投光方向と異なる方向から観測して光点位置を検出し、信号処理手段3において光点走査位置情報および光点位置検出情報に基づいて被測定物4の表面形状を演算する。
請求項（抜粋）：
被測定物に光点を投光して走査する光線走査手段と、該光線走査手段による光走査面内に設けられ、前記光線走査手段から被測定物に投光された光点からの反射光を投光方向と異なる方向から観測して光点位置を検出する光点位置検出手段と、前記光線走査手段の走査を制御する走査制御手段と、該走査制御手段から得られる光点走査位置情報および前記光点位置検出手段によって検出される光点位置情報に基づいて被測定物の表面形状を演算する演算手段とを有することを特徴とする表面形状測定装置。
引用特許：
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