特許

J-GLOBAL ID：200903098218545969

チタン酸系強誘電体膜形成用組成物と形成法

発明者： 小木 勝実 ,  内田 寛人 ,  曽山 信幸 ,  善 英喜
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181482
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037422
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 有機金属化合物を原料とするゾル-ゲル法によるチタン酸系強誘電体膜の形成において、塗布液の安定性を高め、同時に成膜後の加熱焼成時には酸化物への転化を促進し、均質で緻密な強誘電体膜を得る。【構成】 一般式:ATiO3(A=Ba、Sr、Ca、Mg、Pb) またはBi4Ti3O12 型の複合酸化物からなるチタン酸系強誘電体膜の形成用組成物であって、各成分金属の原料有機化合物を目的とする複合酸化物の組成に相当する割合で有機溶媒中に含有し、さらに安定化剤 (例、β-ジケトン) と酸化剤 (例、過酸化水素) とを含有する塗布液を使用する。

請求項（抜粋）：

有機金属化合物を原料とするゾル-ゲル法により、一般式:Ax Tiy Oz(式中、A成分はBa、Sr、Ca、MgおよびPbから選ばれた1もしくは2以上の金属であるか、またはBiであり、A成分がBiである時はx=4、y=3、z=12であり、A成分がBi以外の金属である時はx=y=1,z=3である) で示される複合酸化物からなるチタン酸系強誘電体膜を形成するための組成物であって、各成分金属の原料有機化合物を目的とする複合酸化物の組成に相当する割合で有機溶媒中に含有し、さらに安定化剤と酸化剤とを含有することを特徴とする、チタン酸系強誘電体膜形成用組成物。

IPC (3件)：

H01B 3/00 ,  C04B 35/46 ,  C30B 29/32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-052074
  
• 特開昭63-252301
  
• 特開平3-083816