特許

J-GLOBAL ID：200903098230663594

露光装置用シャッタ装置

発明者： 川村 秀司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-075598
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266160
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 シャッタ羽根を慣性モーメントの小さな構造とすることにより、小型のモータで高速のシャッタ開閉動作を行いうるシャッタ装置を得る。【解決手段】 シャッタ羽根をシャッタ開口板の開口に対向したとき該開口を覆い光源から光学系への光路を遮断する遮光板部と該遮光板部を支持する支持部とから成る構造とし、シャッタ羽根をシャッタ開口板に平行な軸線周りに回転させて遮光板部が遮光位置と光源から光学系への光通過を許す光通過位置とを交互にとりうるようにした。

請求項（抜粋）：

露光装置の光源から光学系への光路中に配置され所定の開口を有するシャッタ開口板と、該開口に対向したとき該開口を覆い露光装置の光路を遮断するための遮光板部と該遮光板部を支持する支持部材とを有し、該遮光板部が支持部材上に支持されて前記開口に対向して光路を遮断する遮光位置と前記開口から外れて光源から光学系への光を通過させる光通過位置とを交互にとり得るように前記シャッタ開口板に平行な軸線周りに回転可能であるシャッタ羽根と、該シャッタ羽根を回転駆動するための回転駆動モータとからなる露光装置用シャッタ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 E ,  G03F 7/20 521