特許
J-GLOBAL ID：200903098232320970
走査型近接場光顕微鏡用カンチレバーの製造方法および製造装置および予備成形品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321888
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178639
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】先端に微小な開口を有する探針を備えた、原子間力顕微鏡を組み込んだ走査型近接場光顕微鏡用のカンチレバーを提供する。【構成】予備成形品126’の探針を対向電極208に対峙させて支持する保持手段210が設けられている。対向電極208は上下ステージ204に固定された対向電極保持手段206の上に交換可能に固定されていて、探針までの距離が調整できるようになっている。その間隔をモニターするため、レーザ光源212と二分割フォトディテクタ214からなる光てこ式の変位計測手段が設けられている。対向電極208は電圧源216に接続され、予備成形品126’の導電性遮光コートは電流検出手段218とスイッチ224を介して電圧源216に接続されている。電流検出手段218は抵抗220と電圧計222で構成される。導電性遮光コートと対向電極208の間にコンデンサ226が設けられている。
請求項（抜粋）：
光を透過する探針を自由端に備えたカンチレバーを用意する工程と、探針の表面に導電性遮光コートを設ける工程と、探針の先端の導電性遮光コートを放電により除去して開口を形成する工程とを有している、探針の先端に微小な開口を有する走査型近接場光顕微鏡用カンチレバーの製造方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30 102
, G01N 37/00
, G02B 21/00
