特許

J-GLOBAL ID：200903098254560494

基板搬送方法

発明者： 熊谷 長久
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273294
公開番号（公開出願番号）：特開平6-127738
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は,半導体基板やマスク等の基板の搬送方法に関し,搬送台上に基板保持ピン等の突起物が設けられていても,搬送がスムーズに行なえる方法を得ることを目的とする。【構成】 基板1を圧縮空気2により浮上搬送するエアベアリング機構3を有し,且つ,搬送台4に対して上昇下降可能な搬送レール5と, 基板保持ピン6と,基板位置決めピン7とを搬送台4上に設け, 搬送レール5の上昇により, エアベアリング機構3を作動させて,基板1を基板保持ピン6に接触させずに搬送し,基板位置決めピン7により定位置において停止するように, また, 搬送レール5の下降により, 基板1を基板保持ピン6上に保持するように構成する。

請求項（抜粋）：

基板(1) を圧縮空気(2) により浮上搬送するエアベアリング機構(3) を有し,且つ,搬送台(1) に対して上昇下降可能な搬送レール(5) と,基板保持ピン(6) と,基板位置決めピン(7) とを該搬送台(4) 上に設け, 該搬送レール(5) の上昇により, 該エアベアリング機構(3) を作動させて,該基板(1)を該基板保持ピン(6) に接触させずに搬送し, 該基板位置決めピン(7) により定位置において停止するように, また, 該搬送レール(5) の下降により, 該基板(1) を該基板保持ピン(6) 上に保持するようにすることを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

B65H 5/22 ,  B65G 51/03 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-031120
  
• 特開平2-295149
  
• 特開平2-243418