特許
J-GLOBAL ID：200903098255230250
板状体搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063206
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252246
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハ等の板状体の配列ピッチを無段階に可変できる構造を備えた板状体搬送装置を提供することにある。【構成】本発明では、複数の板状体を一括して保持した状態で搬送する構造において、等間隔を以って奇数個配列され、中央部に位置するものが不動状態にされている保持アーム12を設け、この保持アーム12の外周縁側で配列方向両側に位置するアームをそれぞれ相反する方向にひとしい距離で駆動する構造26,30を備えている。そして、この駆動による各保持アーム12の移動は、平行移動手段46によって平行かつ等間隔を以って行なうようになっている。従って、駆動量に応じて配列方向両側の保持アーム12に連動して中央部のものを除いて残りの保持アームを相反する方向に移動させることができる。
請求項（抜粋）：
複数の板状体を一括して保持した状態で搬送する構造を備えた板状体搬送装置において、上記板状体を保持するために等間隔を以て奇数個配列され、そのうちの中央に位置するものが配列方向で不動状態にされている保持アームと、上記保持アームのうちの配列方向両端のものにそれぞれ設けられている従動手段と、上記従動手段に係合し、上記従動手段を相反する方向にそれぞれ駆動する駆動手段と、上記保持アームに連結され、保持アームのうち中央部と両端部の間に位置する保持アームを、平行かつ等間隔を以て上記従動部と連動させる平行移動手段と、を備えていることを特徴とする板状体搬送装置。
IPC (2件)：
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