熱圧着用ツール、バンプ形成方法およびリード接合方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287700
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122561
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】電極パッド上に高精細かつ高品質のバンプを圧着形成する。リードを被接合部材と接合する際に被接合部材へのダメージを小さくし、位置合わせも精度良く行う。【構成】キャピラリーツール3の先端部に、あらかじめ冶金学的に安定形成された高精度かつ高品質の金属ボール15を選択的に吸着し、この金属ボール15を電極パッド等の被圧着部材上で圧着変形させることにより、ネイルヘッド状のバンプを形成する。また、リードとこのリードを接合すべき被接合部材とを重ね合わせ、リードの上から、金属ボールを押しつけてスティッチバンプと成し、リードと被接合部材とを一括集中接合する。

請求項（抜粋）：

球状の金属片を吸着するための管部を有し、上記管部の上記金属片を吸着する側の一端部の吸着口は上記一端部から離れるに従って径が減少するテーパ状の内周面とこの内周面に連続する平坦な圧着面とを有する熱圧着用ツール。

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