特許
J-GLOBAL ID：200903098263624454
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井ノ口 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302782
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119057
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 半導体加速度センサの重り部に対向するセンサチップ部にスルーホールを設け、重り部に直接,荷重を加えられるようにして、感度測定及び調整を容易にする。【構成】 重り部9及びたわみ部8を備えたセンサ基板1の上下面に空隙7,8を有する上下部支持台2,3を設け、上部支持台2には重り部9に対向する位置に少なくとも1個所以上のスルーホール5を形成する。これにより、スルーホール5を通して荷重体から直接,重り部9荷重を加えて、出力電圧を取り出すことができる。
請求項（抜粋）：
加速度に感応して上下動する重り部を中央に備え、前記重り部を支持し、前記重り部の上下動により機械的なたわみを発生させるたわみ部を周辺に備えたセンサ基板と、前記センサ基板の上下面にそれぞれ取り付けられ、前記重り部の上下動により前記重り部の上下面にそれぞれ空隙を形成するとともに、一定値以上に前記重り部が上下動することがないように構成した一対の支持台とを備えた半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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