特許
J-GLOBAL ID：200903098269267106
無水イタコン酸ポリマーおよびそれを含むフォトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-376443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321773
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、特に、248nmおよび193nmなどの200nm未満のような短波長の照射光で画像を形成できる新しいフォトレジスト組成物であって、高解像度のレリーフ画像、特に0.25μm未満の画像のような、小さな画像を供し得るようなレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 光活性成分と樹脂を含み、該樹脂が無水イタコン酸単位を含有し、そして、少なくとも実質的にイタコン酸単位を有しない、フォトレジスト組成物、更には、該樹脂が、無水イタコン酸を精製し、そして、該精製した無水イタコン酸を反応させて樹脂を調製することによって得られたものである、フォトレジスト組成物、及び、これらの樹脂に光活性成分を混合して、フォトレジスト組成物を調製する、ことを含む、フォトレジスト組成物の調製方法、並びに、これらのフォトレジスト組成物を用いたレリーフ画像の形成の方法
請求項（抜粋）：
光活性成分と樹脂を含み、該樹脂が無水イタコン酸単位を含有し、そして、少なくとも実質的にイタコン酸単位を有しない、フォトレジスト組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 601
, C08F 2/00
, C08F 22/04
, C08K 5/00
, C08L 35/00
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F 2/00 Z
, C08F 22/04
, C08K 5/00
, C08L 35/00
, H01L 21/30 502 R
