特許
J-GLOBAL ID：200903098275574207
Al▲2▼O▲3▼製静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280933
公開番号（公開出願番号）：特開平9-117838
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハなどの被吸着物を静電気力で着脱する半導体製造装置用静電チャックであって、安定した吸着力を有すると共に、残留吸着力が小さく、しかも半導体ウエハと接触しても金属元素による汚染が発生することのない静電チャックを提供する。【解決手段】 電極と、該電極を被覆する絶縁層とを有する静電チャックにおいて、少なくとも前記絶縁層を純度99.9%以上のAl2 O3 焼結体で構成する。
請求項（抜粋）：
電極と、該電極を被覆する絶縁層とを有する静電チャックにおいて、少なくとも前記絶縁層が純度99.9%以上のAl2 O3 焼結体からなることを特徴とするAl2 O3 製静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 3/15 D
, H01L 21/68 R
