特許

J-GLOBAL ID：200903098282501665

走査電子顕微鏡

発明者： 新川 隆朗
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115381
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290787
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 ステージのドリフトや外部磁場の変動が発生しても、試料の観察が正確に行なえる走査電子顕微鏡像観察方法を提供すること。【構成】 試料5の小領域Δを電子線で走査し、この走査による画像データはフレームメモリ7に格納され、パターンマッチ部9に送られる。次に、観察領域Aを電子線で走査し、この走査による画像データは積算手段8を介してフレームバッファ10に格納される。次に、前記小領域Δを電子線で走査し、その画像データはパターンマッチ部9に送られ、前回の画像データとマッチング処理が成され、ステージのドリフトの補正はステージ14に返される。次に、観察領域Aを電子線で走査し、この走査による画像データは積算手段8を介してフレームバッファ10に格納され、ブラウン管11には試料像が表示される。以後、同様な動作が行われる。

請求項（抜粋）：

電子線により試料上を繰り返し二次元的に走査することにより得られる検出信号を対応する画素毎に順次積算するようにした走査電子顕微鏡において、観察領域中または観察領域外の小領域の画像データと一定期間経過後の走査によって得られる前記小領域の画像データとのマッチングをとる事により視野のドリフト量を検出する手段と、検出された視野のドリフトを補償するように試料に対する電子線の走査位置を補正するための手段とを備えた走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-080453
  
• 特開昭62-043050
  
• 特開昭62-115636