硬質窒化炭素膜の合成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：河内潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052712
公開番号（公開出願番号）：特開平11-229147
出願日： 1998年02月19日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】窒素含有率の高い結晶質の窒化炭素膜を形成し、従来より硬度の高い硬質窒化炭素膜を得る。【解決手段】反応槽1内に流入するシアン化臭素、シアン化ヨウ素、シアン化水素、シアン化メチル又はシアン化塩素等のシアン化合物を含む原料ガス4をプラズマ化することにより活性化し、活性化したガス21により下流に置かれた基体2上に窒化炭素膜3を合成する。また、希ガス、又は窒素ガス、アンモニアガス等の窒素含有ガスと混合する。また、シアン化塩素を含む場合は水素ガスを添加する。シアン化合物ガスの流量の全ガス流量に対する比は1〜90%であり、かつ窒素含有ガスと希ガスの流量比が0〜80%とし、さらに、反応槽内の圧力が0.01Pa〜10kPaとし、マイクロ波、高周波、交流放電または直流放電のによりプラズマガスを活性化する。

請求項（抜粋）：

少なくともシアン化合物を含む原料ガスをプラズマ化することにより活性化し、該プラズマ中またはプラズマ化されたガスの下流に置かれた基体上に窒化炭素膜を合成することを特徴とする硬質窒化炭素膜の合成方法。

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