特許

J-GLOBAL ID：200903098289601312

光重合性組成物

発明者： 池田 智之 ,  稲沢 謙二 ,  後藤 義隆
出願人/特許権者： 日本油脂株式会社
代理人 (1件)： 酒井 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287046
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140657
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【構成】一般式化1のメタクリル酸グリシジル付加物構成単位を有する平均分子量5000〜100000の共重合体を全固形分中に35〜75重量%、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート及び/又はトリスアクリロイルオキシエチルフォスフェートを全固形分中に15〜50重量%及び光重合開始剤を全固形分中に0.1〜15重量%含有する光重合性組成物。【化1】【効果】本発明は、基板等に対して接着性が高く、弱アルカリ性水溶液により現像可能であり、良好な画像形成性を示す。また加熱硬化によって優れた耐久性、耐アルカリ性等を付加することもできるので、フォトレジストのみならず、微細な構造が必要とされる製品の材料、保護膜等としても有用である。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式化1で表わされるメタクリル酸グリシジル付加物構成単位を有する平均分子量5000〜100000の共重合体を全固形分中に35〜75重量%、(B)ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート及び/又はトリスアクリロイルオキシエチルフォスフェートを全固形分中に15〜50重量%及び(C)光重合開始剤を全固形分中に0.1〜15重量%含有する光重合性組成物。【化1】

IPC (6件)：

G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027