特許
J-GLOBAL ID：200903098296182090
マイクロミラー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321451
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159938
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】駆動電極に印加する電圧の時間的な制御を必要とせずに、単に電圧を印加するだけで、ミラー部を吸引する動作過程の途上で一定時間だけミラー部を傾けて所定の方向に入射光を反射できるようにする。【解決手段】基板3と、基板上に形成した駆動電極4と、駆動電極に対向して基板の上方に配置したミラー部1と、基板に対してミラー部を両側から傾動可能に支持した左右一対のサスペンション部材とからなり、前記駆動電極とミラー部との間に電圧を印加してミラー面の角度を変化させるようにしたマイクロミラー装置において、前記サスペンション部材を捩じり方向と基板への移動方向との2軸に対して可撓性を有するサーペン状ばね2bとなし、かつ駆動電極をミラー部に対し前後方向に偏倚した位置に配置し、電圧印加による吸引動作の途上でミラー部を基板と平行な姿勢から一時的に傾ける。
請求項（抜粋）：
基板と、基板上に形成した駆動電極と、駆動電極に対向して基板の上方に配置したミラー部と、基板に対してミラー部を両側から傾動可能に支持した左右一対のサスペンション部材とからなり、前記駆動電極とミラー部との間に電圧を印加してミラー面の角度を変化させるようにしたマイクロミラー装置において、前記サスペンション部材を捩じり方向と基板への移動方向との2軸に対して可撓性を有するばねとなし、かつ駆動電極をミラー部に対し前後方向に偏倚した位置に配置したことを特徴とするマイクロミラー装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
