特許
J-GLOBAL ID：200903098300178761
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-193535
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036983
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 ガス使用時にオーブンからの蒸気がプラズマ生成部内のガスに混入するするのを防止できるようにしたイオン源を提供すること。【構成】 固体試料21をヒータ22を用いて加熱し、蒸気23を発生させるオーブン2に、温度制御可能な冷却機構6を付設したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
導入されたイオン種を用いてプラズマを発生させるものであって、ガス導入口および蒸気導入部を有するプラズマ生成部と、固体試料をヒータによって加熱して蒸気を発生させこれをプラズマ生成部に供給するオーブンとを備え、前記プラズマ生成部内にイオン種としてガスと、オーブンからの蒸気とを切換えて導入するようにしたイオン源において、前記オーブンに温度制御可能な冷却機構を付設してなることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
引用特許：
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