特許

J-GLOBAL ID：200903098304365574

Co系ターゲットおよびその製造方法

発明者： 上野 友典 ,  村田 英夫 ,  谷口 繁 ,  上野 英
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117459
公開番号（公開出願番号）：特開2002-226970
出願日： 2001年04月16日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 酸素量の増大を抑制したCo系粉末焼結ターゲットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 Bを10at%を超えて25at%以下含有し、酸素量が100ppm以下のCo系粉末焼結ターゲットである。30≧Pt≧5at%、30≧Cr≧10at%、10≧Ta>0at%、30≧Ni>0at%、さらには、15≧(Ti+Zr+Hf+V+Nb+Mo+W+Cu+Ag+Au+Ru+Rh+Pd+Os+Ir+希土類元素)>0at%を含有させることが可能である。本発明のターゲットは、Co系を主体とする合金にBを10at%を超えて25at%以下添加して溶解することにより脱酸素処理した後、得られた合金を急冷凝固処理して粉末とし、次いで該粉末を焼結する製造方法にて得ることができる。または、該粉末と金属粉末、具体的にはCu、Ag、Au、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Ptから選ばれる1種もしくは2種以上の元素の金属粉末を混合し、次いで該混合粉末を焼結する製造方法にて得ることもできる。

請求項（抜粋）：

粉末焼結ターゲットであって、Bを10at%を超えて25at%以下含有し、酸素量が100ppm以下であることを特徴とするCo系ターゲット。

IPC (7件)：

C23C 14/34 ,  B22F 3/15 ,  B22F 3/24 ,  B22F 9/08 ,  C22C 1/04 ,  C22C 19/07 ,  G11B 5/851

FI (7件)：

C23C 14/34 A ,  B22F 3/15 M ,  B22F 3/24 C ,  B22F 9/08 A ,  C22C 1/04 B ,  C22C 19/07 G ,  G11B 5/851

Fターム (15件)：

4K017AA04 ,  4K017DA03 ,  4K017EK01 ,  4K018AA10 ,  4K018BA04 ,  4K018EA11 ,  4K018KA29 ,  4K029BA24 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5D112AA05 ,  5D112BB05 ,  5D112FB02