特許

J-GLOBAL ID：200903098306407401

電気的接続装置

発明者： 麻生 裕之 ,  田辺 敦 ,  野呂 浩治 ,  船水 浩
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-305628
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138576
出願日： 2002年10月21日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】各プローブの一端又は他端に作用する押圧力が他方に影響を及ぼすことを防止すると共に、針先の高さ位置を容易に一定にすることができるようにすることにある。【解決手段】電気的接続装置は、プローブ支持体と、該プローブ支持体に配置された複数のプローブとを含む。プローブ支持体は、上方に開放する第1の凹所を有する下板と、下方に開放する第2の凹所を有する上板であって下板の上方に間隔をおいて配置された上板と、第1及び第2の凹所を閉鎖するように下板及び上板の間に配置された中板とを含む。各プローブは、中板より上方の部位及び下方の部位のそれぞれにおいて独立して弾性変形可能に、下板、上板及び中板に挿し込まれている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

プローブ支持体と、該プローブ支持体に配置された複数のプローブとを含み、 前記プローブ支持体は、上方に開放する第1の凹所を有する下板と、下方に開放する第2の凹所を有する上板であって前記下板の上方に間隔をおいて配置された上板と、前記第1及び第2の凹所を閉鎖するように前記下板及び前記上板の間に配置された中板とを含み、 各プローブは、前記中板より上方の部位及び下方の部位のそれぞれにおいて独立して弾性変形可能に、前記下板、前記上板及び前記中板に挿し込まれている、電気的接続装置。

IPC (3件)：

G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

FI (3件)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B ,  G01R31/28 K

Fターム (19件)：

2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC14 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AA00 ,  2G132AF02 ,  2G132AF04 ,  2G132AL00 ,  2G132AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA01 ,  4M106DD10