ボンディング方法およびボンディング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畑泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116398
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306944
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】ボンディングヘッドの加圧不良によるボンディング圧着不良を未然に防止する事が出来るボンディング方法及び装置を提供することにある。【解決手段】近接センサーによって駆動手段連結ユニットとホーン用フランジとの所定位置での間隔を測定する基準電圧検出工程と、モータによりボンディングヘッドを下降させツールの先端を着地させる下降工程と、ツールの先端の着地後、更にツールを加圧する加圧工程と、モータを逆転させ、ツールを上昇させる工程と、モータの原点位置を検出するモータ原点位置検出工程とから構成され、該モータ原点位置検出工程においてモータが原点位置にあり、かつ前記基準電圧検出工程で検出された電圧が予め定めた上限値及び下限値外にあるとき、異常警告を発生し装置を停止させるので、ボンディングヘッドの加圧不良によるボンディング圧着不良を未然に防止する事が出来る。

請求項（抜粋）：

近接センサーによって駆動手段連結ユニットとホーン用フランジとの所定位置での間隔を測定する基準電圧検出工程と、駆動手段を一方向に駆動することによりボンディングヘッドを下降させツールの先端を着地させる下降工程と、ツールの先端の着地後、更にツールを加圧する加圧工程と、駆動手段を逆転させ、ツールを上昇させる工程と、駆動手段の原点位置を検出する駆動手段原点位置検出工程とから構成され、該駆動手段原点位置検出工程において駆動手段が原点位置にあり、かつ前記基準電圧検出工程で検出された電圧が予め定めた上限値及び下限値内にあるとき、ボンディング工程を続行し、範囲外にあるとき各工程を停止することを特徴とするボンディング方法。

Fターム (1件)：

5F044BB06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-206938
特開昭59-050536
特開平4-206938

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