特許
J-GLOBAL ID：200903098318227565
液晶表示装置およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279787
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134312
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【構成】透明ガラス基板(1)面上に、ITO膜(2)を形成した後、ITO膜(2)を多結晶化し、次いで、Cr(またはTi)膜(3)、およびAl合金膜(4)を順次形成して3層膜を形成し、所定の形状のホトレジスト膜(5)をマスクとして、まずAl合金膜(4)をBCl3とCl2との混合ガスを用いてドライエッチングし、次に、Cr(またはTi)膜(3)をCl2とO2(TiはBCl3とCl2)との混合ガスを用いてドライエッチングし、次に、ITO膜(2)をCH3OHとArとの混合ガスを用いてドライエッチングして、信号線と画素電極部に所定のパターンの前記3層膜を形成し、前記画素電極部のAl合金膜(4)とCr(またはTi)膜(3)を除去する構成。【効果】信号線のパターニングに使用するホトマスクの数が少なくて済み、製造コストを安くすることができる。また、透明導電膜の残渣の発生を抑制でき、G/Dショートの発生を抑制できる。
請求項（抜粋）：
第1の基板と第2の基板とを所定の間隙を隔てて重ね合わせ、前記両基板間に液晶を封止し、前記第1の基板面上には、水平方向に延在し、かつ垂直方向に複数本配置された走査信号線と、垂直方向に延在し、かつ水平方向に複数本配置された映像信号線と、隣接する2本の前記走査信号線と隣接する2本の前記映像信号線との交差領域内にそれぞれ配置されたスイッチング素子と第1の画素電極とを設け、前記第2の基板面上には前記第1の画素電極に対向して第2の画素電極を設けたアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置において、少なくとも一方の前記信号線が、少なくとも一部が多結晶化された透明導電膜、中間金属膜、およびAlまたはAl合金膜を順次積層して成ることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
