特許

J-GLOBAL ID：200903098319622085

試料表面形状・赤外分光複合評価装置および評価方法並びに測定方法

発明者： 三浦 直子 ,  緑川 理子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 丹羽 宏之 ,  野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-279153
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117108
出願日： 2002年09月25日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】同一微小領域の化学構造及び三次元形状データを容易に取得できる測定装置及び測定方法の提供。また加熱や光照射による材料成分や化学構造の変化と三次元形状の変化を経時的に観測できる測定装置及び測定方法の提供。【解決手段】形状計測手段と、赤外分光分析手段と、試料ステージと、これらの動作制御及びコンピュータとを備えた装置用いることにより、任意の同一個所の赤外スペクトルと三次元形状データを容易に取得する。またこれらのデータを同一基板上の複数個所で測定することにより、面内でのばらつきを得る。さらには試料に温度や光などのエネルギーを加えながら繰り返し測定することにより、試料形状及び化学構造の経時的な変化を同時に評価する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

微小領域の表面三次元形状を計測するためのレーザー測長手段と、微小領域の化学構造を評価するための赤外分光分析手段と、上記レーザー光と赤外光を試料の同一領域に同時に照射するための光学系と、試料を任意の位置に移動するためのステージと、上記手段の動作制御および情報処理のためのコンピュータとを具備していることを特徴とする試料表面形状・赤外分光複合評価装置。

IPC (5件)：

G01N21/35 ,  G01B11/24 ,  G01N1/28 ,  G01N1/36 ,  G01N13/00

FI (5件)：

G01N21/35 Z ,  G01N13/00 ,  G01N1/28 K ,  G01N1/28 Z ,  G01B11/24 A

Fターム (41件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC00 ,  2F065FF09 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2G052AA18 ,  2G052AD32 ,  2G052AD46 ,  2G052AD52 ,  2G052DA05 ,  2G052EB11 ,  2G052FD00 ,  2G052FD09 ,  2G052GA00 ,  2G052GA11 ,  2G052HC04 ,  2G052HC06 ,  2G052HC22 ,  2G052HC34 ,  2G052HC41 ,  2G052JA13 ,  2G052JA16 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059DD00 ,  2G059DD03 ,  2G059DD16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK04