特許
J-GLOBAL ID：200903098322411397
浮上方法及び浮上ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-246201
公開番号（公開出願番号）：特開2009-073646
出願日： 2007年09月21日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：
【課題】ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上方法及び浮上ユニットを提供する。【解決手段】浮上ユニットはチャンバー36を備えている。チャンバー36の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定されて搬送路面Fを形成している多孔質板を備えており、気密空間に気体を供給して通気孔と多孔質板の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。更に、浮上ユニットは、搬送路Fの上方に配置され、ワークであるフィルムPを非接触で保持する非接触保持具170を備えている。非接触保持具170は、保持具下部の全周囲にわたってフィルムPとの間から保持具外方に向けて空気を噴出することにより、ベルヌーイの原理で保持具下部の中央部に負圧を発生させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークを浮上させて搬送する浮上方法であって、
搬送路を上側に形成している多孔質体に気体を供給して前記搬送路側に噴出させてワークを浮上させるとともに、
前記ワークの上方の領域に負圧または正圧を発生させることにより前記ワークを非接触で保持することを特徴とする浮上方法。
IPC (4件)：
B65G 51/03
, B65G 49/07
, H01L 21/677
, B65G 49/06
B65G51/03 E
, B65G51/03 C
, B65G49/07 K
, H01L21/68 A
, B65G49/06 Z
5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031GA62
