特許

J-GLOBAL ID：200903098328083847

スパッタリングターゲット

発明者： 程原 政信
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270784
公開番号（公開出願番号）：特開平10-121232
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】 バッキングプレートが露出し、スパッタされて堆積膜に不純物として混入するようなことのない、分割接合型スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 ターゲットブロックの継ぎ目に電気絶縁性材料等からなる保護プレートを設けたもの。

請求項（抜粋）：

複数個のターゲットブロックを接着剤によりバッキングプレートに接合した分割接合型スパッタリングターゲットにおいて、ターゲットブロックとターゲットブロックとの継ぎ目のバッキングプレート上面に電気絶縁性物質又はターゲットと同質の金属材料からなる保護材を設けたことを特徴とする分割接合型スパッタリングターゲット。