特許
J-GLOBAL ID：200903098330896391
円筒形マグネトロンシールド構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004321
公開番号（公開出願番号）：特開平8-239758
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 アーキング活動を最小にする円筒形マグネトロンシールド構造体。【解決手段】 ターゲット14がその長さに沿って拡張している領域を確立するためにその中で非回転自在に保持されている磁石を包含し、ターゲット14と電気的に伝達する電源36と、支持ブロック16、18の少なくとも一つによって担持されかつその間に空間を有しているターゲット14の少なくとも一つの関連端上に拡張している少なくとも一つの円筒形に成形されたシールド構造体38、40とを備え、シールド構造体38、40の改良は、その外側表面の回りに拡張している少なくとも一つの環状構造52を備え、その少なくとも一つの環状構造52は外側表面62を横切って移動しうるあらゆるアークの動きを遮るために寸法決めされている、対応支持ブロック16、18によりその対向する端で回転自在に担持される円筒状に成形されたターゲット14から材料をスパッタすることにより基板22上に薄膜を、真空室12内で被着する。
請求項（抜粋）：
対応支持ブロックによりその対向する端で回転自在に担持される円筒状に成形されたターゲットから材料をスパッタすることによって基板上に薄膜を、真空室内のガス雰囲気で、被着する装置において、前記ターゲットが当該ターゲットの長さに沿って拡張しているスパッタリング領域を確立するためにその中で非回転自在に保持された磁石を包含している装置であって、前記ターゲットと電気的に伝達する電源と、前記支持ブロックの少なくとも一つによって担持されかつその間に空間を有して前記ターゲットの少なくとも一つの関連端上に拡張している少なくとも一つの円筒形に成形されたシールド構造体とを備え、前記シールド構造体の改良は、その外側表面の回りに拡張している少なくとも一つの環状構造を備え、前記少なくとも一つの環状構造は、前記外側表面を横切って移動しうるあらゆるアークの動きを遮るために寸法決めされることを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/34 C
, C23C 14/34 B
, C23C 14/35 Z
