特許
J-GLOBAL ID：200903098332896739
液供給方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-043217
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072494
出願日： 1991年03月08日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】 液体の供給元の容器が空か否かを簡便かつ正確に判定する。【構成】 キャニスタ1から液体2を外部に供給する液供給配管4の経路に、当該液供給配管4の内部を流通する液体2における気泡の有無を検出する光センサ5を配置し、キャニスタ1が空になった時に液供給配管4に混入した気泡の有無を監視して、液体2の供給元のキャニスタ1が空か否かを判定する。
請求項（抜粋）：
容器から液体を取り出す配管内における気泡の混入の有無に基づいて、前記容器が空か否かを判定することを特徴とする液供給方法。
IPC (3件)：
B67D 5/02
, G01F 23/00
, H01L 21/304 361
