特許
J-GLOBAL ID：200903098340679518
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168234
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339988
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】例えばウエハの中心部分と周辺部分との間でエッチングレートの差によってエッチングが不均一になるといった問題を解決することができ、しかも種々のプロセスに柔軟に対応し得るドライエッチング装置を提供する。【構成】ドライエッチング装置は、対向する上部電極10と下部電極20を備えており、上部電極10は中心電極部11と周辺電極部12とから成り、下部電極20と中心電極部11若しくは周辺電極部12との間の距離を可変とするための昇降装置13が備えられている。
請求項（抜粋）：
対向する上部電極と下部電極を備えたドライエッチング装置であって、上部電極は中心電極部と周辺電極部とから成り、下部電極と中心電極部若しくは周辺電極部との間の距離を可変とするための昇降装置が備えられていることを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, H05H 1/46
H01L 21/302 C
, C23F 4/00 A
, H05H 1/46 M
