特許
J-GLOBAL ID:200903098345626790
反射防止膜を有する光学部材
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-214467
公開番号(公開出願番号):特開平5-034502
出願日: 1991年07月31日
公開日(公表日): 1993年02月12日
要約:
【要約】【目的】 耐熱性が良好で且つ経時的な耐熱温度の低下する程度の小さい反射防止膜を有する光学部材を提供する。【構成】 合成樹脂基板上に反射防止膜を有する光学部材であって、前記合成樹脂基板と前記反射防止膜との間に、下記に示すA層、B層およびC層の順で前記合成樹脂基板側から積層されてなる下地層を介在していることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。A層;SiO2 からなる層で、その層の屈折率(nd)の範囲が1.45〜1.47で、且つ膜厚の範囲が0.05〜0.15λである。B層;Ta2 O5 からなる層で、その層の屈折率(nd)の範囲が2.00〜2.10で、且つ膜厚の範囲が0.01〜0.10λである。C層;SiO2 とAl2 O3 からなる層で、その層の屈折率(nd)の範囲が1.48〜1.52で、且つ膜厚の範囲が0.75〜1.50λである。
請求項(抜粋):
合成樹脂基板上に反射防止膜を有する光学部材であって、前記合成樹脂基板と前記反射防止膜との間に、下記に示すA層、B層およびC層の順で前記合成樹脂基板側から積層されてなる下地層を介在していることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。A層;SiO2 からなる層で、その層の屈折率(nd)の範囲が1.45〜1.47で、且つλ=450〜550nmを設計波長とした場合の膜厚の範囲が0.05〜0.15λである。B層;Ta2 O5 からなる層で、その層の屈折率(nd)の範囲が2.00〜2.10で、且つλ=450〜550nmを設計波長とした場合の膜厚の範囲が0.01〜0.10λである。C層;SiO2 とAl2 O3 との混合層で、その層の屈折率(nd)の範囲が1.48〜1.52で、且つλ=450〜550nmを設計波長とした場合の膜厚の範囲が0.75〜1.50λである。
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