特許
J-GLOBAL ID：200903098349804102
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107967
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303681
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】圧電基板の焦電効果により電極指間がショートするのを防止、抑制し、同時に電極指を保護する保護膜を放電を抑制して形成する。【解決手段】一対のIDT電極2a,2bを有する少なくとも一個のSAW共振子2と配線パターン5及びパッド電極4用の導電膜を、圧電基板1上に形成して成るSAW装置であって、導電膜の面積を圧電基板1の一主面の面積の25%以上とし、SAW共振子2上に保護膜6を設けた。
請求項（抜粋）：
一対の櫛歯状電極を有する少なくとも一個の弾性表面波共振子と配線パターン及び外部導出用のパッド電極用の導電膜を、圧電基板の一主面の面積の25%以上に形成し、前記弾性表面波共振子上に保護膜を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。
FI (2件)：
H03H 9/145 D
, H03H 9/145 C
