特許

J-GLOBAL ID：200903098350562767

磁気ディスク用基板およびその研磨方法

発明者： 大谷 幸一 ,  岡部 務 ,  平野 聡
出願人/特許権者： 三菱アルミニウム株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339602
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155331
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 磁気ディスク基板の各部分相互間に異方性を生じさせる原因となる研磨痕やうねりの小さい磁気デスク基板およびその研磨方法を提供する。【解決手段】 複数の異なる方向の研磨痕を有する磁気ディスク基板5であって、水平両面同時研磨装置1が備える上下の円盤状砥石2、3の回転を停止した後に、磁気ディスク基板5を砥石2、3の内周側と外周側を往復するように移動して前記研磨痕が形成された磁気ディスク基板5、および、砥石2、3の回転を停止した後に、磁気ディスク基板5を砥石2、3の内周側と外周側を往復するように移動させる研磨方法によって、上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

複数の異なる方向の研磨痕を有する磁気ディスク基板であって、前記研磨痕が、水平両面同時研磨装置が備える上下の円盤状砥石の回転を停止した後に、前記磁気ディスク基板を前記砥石の内周側と外周側を往復するように移動して形成されたことを特徴とする磁気ディスク基板。

IPC (3件)：

G11B 5/84 ,  B24B 7/17 ,  B24B 37/04

FI (3件)：

G11B 5/84 A ,  B24B 7/17 Z ,  B24B 37/04 F

Fターム (19件)：

3C043BC06 ,  3C043CC04 ,  3C043CC11 ,  3C043DD05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA11 ,  3C058AA16 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB06 ,  3C058BC01 ,  3C058BC02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18 ,  5D112AA24 ,  5D112GA03 ,  5D112GA04 ,  5D112GA09 ,  5D112GA12