特許
J-GLOBAL ID:200903098351307582
排ガス除害装置の破過検知方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
吉嶺 桂 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-224543
公開番号(公開出願番号):特開平6-050855
出願日: 1992年08月03日
公開日(公表日): 1994年02月25日
要約:
【要約】【目的】 ガス検知器のセンサの寿命延長及び電解液の補充頻度の延長などメンテナンスを容易にできる真空製造装置用排ガス除害装置の破過検知方法及び装置を提供する。【構成】 真空製造装置用排ガス除害装置1に付設し、該除害装置からの処理ガスの少なくとも一部を間欠的に測定するガス検知器5を備えた破過検知装置において、処理ガスを前記ガス検知器5に導くサンプリング配管6、7と、該配管に開閉弁8、9及びサンプリングポンプ12を設けると共に、該ガス検知器の検出値と予め設定した設定値を比較し、該開閉弁の開閉及びサンプリングポンプの作動のインターバルを指示する測定制御装置、又は前記除害装置の使用状態を測定する計測装置を配備したものである。
請求項(抜粋):
真空製造装置から排出する排ガスを、排ガス除害装置で処理した処理ガスの少なくとも一部を、ガス検知器へ間欠的に導入して、該除害装置の破過を検知する方法において、該除害装置が予め設定された使用状態に至った後、前記ガス検知器への処理ガスの導入を開始することを特徴とする排ガス除害装置の破過検知方法。
IPC (4件):
G01N 1/00
, B01D 53/30
, B01D 53/34 120
, G01N 1/22
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