特許

J-GLOBAL ID：200903098354195610

回折光学素子の製造方法

発明者： 中林 正明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-119880
公開番号（公開出願番号）：特開2004-046093
出願日： 2003年04月24日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】形状精度の高い回折光学素子を製造する。【解決手段】波長の短い光を透光性の成形型を通して光硬化型樹脂に照射した後、波長の長い光を透光性の成形型を通して光硬化型樹脂に照射して樹脂を硬化させる。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

透光性の成形型の格子パターンが形成された成形面上に光硬化型樹脂を供給する工程と、第1の波長の光を成形型を通して光硬化型樹脂に照射し、光硬化型樹脂の一部を硬化させる工程と、前記第1の波長よりも長い第2の波長の光を成形型を通して光硬化型樹脂に照射し、光硬化型樹脂の少なくとも一部を硬化させる工程と、硬化した光硬化型樹脂を成形型から分離する工程とから成る回折光学素子の製造方法。

IPC (3件)：

G02B5/18 ,  B29C39/10 ,  B29C39/40

FI (3件)：

G02B5/18 ,  B29C39/10 ,  B29C39/40

Fターム (18件)：

2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA40 ,  2H049AA43 ,  2H049AA63 ,  2H049AA65 ,  4F204AA44 ,  4F204AB06 ,  4F204AD04 ,  4F204AG03 ,  4F204AH73 ,  4F204AR20 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EK18 ,  4F204EK26