特許
J-GLOBAL ID：200903098355700440
ガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-077559
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267879
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 応答速度や再現性に優れるフローセル型で、しかもセル中でのガスの乱れや巻き込み、あるいは非感応部分へのガス分子の吸着を生じにくいガスセンサを提供する。【解決手段】 可撓性の絶縁膜体11の表面に金属薄膜からなる櫛形電極対12,13を形成し、その上を覆うようににおい感応膜14を形成することで、フローセル型のセンサを構築する際に、セル2中のガスの乱れや巻き込みが生じないような任意の形状に賦形して使用することを可能とする。特に、セル2を円筒形とし、その内面を全面的に覆うように可撓性の絶縁膜体11を備えたセンサ本体部1を装着することで、セル2中を流れるガスに対して抵抗を与えず、有感面を最大にしたフローセル型のガスセンサが得られる。
請求項（抜粋）：
可撓性の絶縁膜体の表面に高導電性薄膜からなる櫛形電極対が形成され、その上を覆うようにガス感応膜が形成されてなるガスセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/12 B
, G01N 27/04 F
