特許
J-GLOBAL ID：200903098363614120
真空バルブの真空漏れ検知方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239198
公開番号（公開出願番号）：特開平11-086696
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】真空バルブがSF6 ガス中に配されても、その真空漏れを検知することができる方法を提供する。【解決手段】SF6 ガス中に配された真空バルブ1の接点を手動操作によって所定のギャップ長G2に設定して接点の耐電圧を調べる。
請求項（抜粋）：
SF6 ガス中に配された真空バルブの接点を手動操作によって所定のギャップ長に設定し、前記接点の耐電圧を調べることを特徴とする真空バルブの真空漏れ検知方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01H 33/66 K
, G01M 3/40 D
