特許
J-GLOBAL ID：200903098375426230
真空容器用高電圧導入装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂間 暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-105644
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306497
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 真空容器に用いられる高電圧導入装置について、沿面放電の発生と、万一、アーク放電を生じた場合のガスの発生の防止を可能とする。【構成】 真空容器1の壁を貫通し同容器1内の陽極4に高電圧導入ロッド16を接続する高電圧導入先端ロッド17と、同先端ロッド17を上記真空容器1に固定し同容器1の気密性を維持する有機絶縁部材18と、上記高電圧導入先端ロッド17が挿入され同先端ロッド17及び上記真空容器1との間にそれぞれ真空絶縁層20を形成する円筒形状の無機絶縁部材19を備えたことによって、高電圧導入先端ロッド17と真空容器1の間に発生する沿面放電を防止することが可能となり、また、真空容器1内の真空度の低下をもたらす、アーク放電によるガス発生の防止が可能となる。
請求項（抜粋）：
真空容器の壁を貫通し同容器内の陽極に高電圧導入ロッドを接続する高電圧導入先端ロッド、および同先端ロッドと上記真空容器の間に設けられ同先端ロッドを同真空容器に固定する有機絶縁部材を備えた真空容器用高電圧導入装置において、上記高電圧導入先端ロッドが挿入され同先端ロッド及び上記真空容器との間にそれぞれ真空絶縁層を形成する円筒形状の無機絶縁部材を備えたことを特徴とする真空容器用高電圧導入装置。
引用特許：
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