特許

J-GLOBAL ID：200903098375995692

圧電素子、インクジェットヘッド及びこれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置

発明者： 村田 晶子 ,  藤井 映志 ,  友澤 淳 ,  鳥井 秀雄 ,  高山 良一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-355160
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186646
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】圧電素子において結晶性及び(001)面結晶配向性の良好なペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成し、この圧電素子の特性ばらつきを低減すると共に、耐電圧及び信頼性を向上させる。【解決手段】基板11上に、チタン又は酸化チタンを含有する貴金属からなる第1の電極層(厚み0.02μm〜0.2μm)14を設け、この第1の電極層14上に、菱面体晶系又は正方晶系のペロブスカイト型酸化物(PZT等)からなる圧電体層16を形成して、該圧電体層16を(001)面に優先配向させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた第1の電極層と、該第1の電極層上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2の電極層とを備えた圧電素子であって、 上記第1の電極層は、チタンまたは酸化チタンを含有する貴金属からなり、 上記圧電体層は、菱面体晶系又は正方晶系の(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなり、 上記圧電体層における少なくとも第1の電極層側の表面近傍は、(100)面又は(001)面配向の領域が第1の電極層における圧電体層側の表面部に位置するチタン又は酸化チタン上に存在しかつ層厚方向と垂直な断面における上記領域の面積が第1の電極層側から上記第2の電極層側に向かって大きくなる構造を有していることを特徴とする圧電素子。

IPC (9件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

FI (10件)：

H01L41/08 L ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 D

Fターム (16件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG85 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14