特許

J-GLOBAL ID：200903098377879894

低誘電率弗素化重合体及びその生成方法

発明者： ガレス・ジエフリー・ハフアム ,  ジエイン・マーガレツト・シヨー ,  アルフレツド・ビーベツク
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133331
公開番号（公開出願番号）：特開平6-107791
出願日： 1993年06月03日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 二無水物、場合により弗素化二無水物と弗素化ジアミンとから生成された、低誘電率高い分子量のポリイミド。【構成】 一般式(1)で示されるポリイミド。(式中、t≧15であり;R1は弗素を含む構成要素を含有する有機基であって、その構成要素の双極子能率は互いに相殺するように立体的に配置されており;a≧0であり;そしてRは四価の有機基である)溶剤中で二無水物とジアミンを反応させてポリアミド酸を生成し、脱溶剤、乾燥、硬化してポリイミドを生成する。このポリイミドを溶液に溶解、再乾燥、再硬化の工程を繰返して分子量を増大させてなる、その製造方法。

請求項（抜粋）：

下記の構造式:【化1】(式中、t≧15であり;R1は弗素を含む構成要素を含有する有機基であって、その構成要素の双極子能率は互いに相殺するように立体的に配置されており;a≧0であり;そしてRは四価の有機基である)を有する化合物。