流体滴下供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝倉勝三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206266
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029207
出願日： 1991年07月22日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】ポンプ室内の流体の滞留を解消するとともに、定量吐出の精度を大幅に向上させることができるようにしたことを主要な特徴とする。【構成】ポンプ機構1のポンプ室11を区画する周側部に可撓性膜17を張設し、これを非圧縮流体Wを介してアクチュエータ機構2の駆動によりポンピング作動させる。フォトレジスト液Rをポンプ室の最下部11aに設けた流入口12を介して流入させて最上部11bに設けた流出口13から流出させる。

請求項（抜粋）：

フォトレジスト液を滴下供給するポンプ機構と、このポンプ機構を駆動するアクチュエータ機構と、このアクチュエータ機構の駆動による前記ポンプ機構のポンピング作動でフォトレジスト液をポンプ室に供給するレジスト液供給手段とを備え、前記ポンプ機構において、ポンプ室にフィルタのエレメントを一体に内蔵し、かつそのポンプ室を区画する周側部に可撓性膜を張設し、この可撓性膜を非圧縮流体を介して前記アクチュエータ機構の駆動によりポンピング作動させて、前記ポンプ室の最下部に設けた流入口を介して流入させたレジスト液供給手段からのフォトレジスト液を最上部に設けた流出口を介して流出させることにより定量吐出を行なうように構成したことを特徴とする流体滴下供給装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , B05C 11/10 , G03F 7/16 502

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-079279
特開昭53-109270

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