特許

J-GLOBAL ID：200903098381477261

加速度センサ

発明者： 加納 一彦 ,  小野田 真稔
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305342
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119060
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 加速度センサのはり部にて支持され加速度により変位するマス部を有する可動部全ての破損を外部判定できるようにすること。【構成】 加速度センサ100の検出部のはり部にて支持され加速度により変位するマス部の上下面には可動電極がそれぞれ上部電極及び下部電極に対向して形成されている。自己診断時には、ジェネレータ82にて下部電極と可動電極との間に所定の周波数の電位を印加してマス部を強制振動させる。すると、発振器B62を構成する上部電極と可動電極との間の静電容量CB が変化する。そして、周波数判定器84にて発振器B62からの周波数を所定のクロック周波数64でカウントしたカウンタB63からのセンサ信号65とジェネレータ82からの参照信号83とが比較される。そして、両者の振動数の差が所定の許容範囲内にあるか否かにより、加速度センサ100の検出部の正常又は異常が外部判定される。

請求項（抜粋）：

上部、可動部、下部から成る3層構造で、前記可動部にはり部にて支持されたマス部を有し、該マス部とその上部又は下部との間に対向する電極を形成し、前記マス部が加速度により変位することによる前記電極間の静電容量の変化に基づいて前記加速度を検出する加速度センサにおいて、前記電極間に所定の周期電圧を印加し前記マス部の加速度による変位とは別に強制的に変位させる変位手段と、前記変位手段による前記電極間の静電容量の変化に基づく前記マス部の振動周期と印加された前記周期電圧との周期差を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記周期差が所定の許容範囲内に入っているかを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする加速度センサ。