特許

J-GLOBAL ID：200903098387173477

波面収差補正装置及び露光装置

発明者： クリストファー.エス.マージソン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173355
公開番号（公開出願番号）：特開2004-064069
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】ミラーは狭い空間に配置されることが要求されるため、アクチュエータをミラーの背面に取り付けることは光学設計の観点から実際的ではない。【解決手段】ミラーの表面形状を変化させることにより波面収差を補正する波面収差補正装置であって、ミラーの表面形状を変化させるための補正ユニットを複数有し、補正ユニットは、ミラーの側面に配置されたアクチュエータと、ミラーの裏面に接続される力作用部材と、アクチュエータと力作用部材を接続するための力伝達機構と、を有することを特徴とする波面収差補正装置。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

ミラーの表面形状を変化させることにより波面収差を補正する波面収差補正装置であって、 前記ミラーの表面形状を変化させるための補正ユニットを複数有し、 前記補正ユニットは ミラーの側面に配置されたアクチュエータと、 ミラーの裏面に接続される力作用部材と、 前記アクチュエータと前記力作用部材を接続するための力伝達機構と、 を有することを特徴とする波面収差補正装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  G02B5/10 ,  G02B7/182 ,  G02B17/00 ,  G02B26/06 ,  G03F7/20

FI (7件)：

H01L21/30 531A ,  G02B5/10 B ,  G02B17/00 Z ,  G02B26/06 ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 517 ,  G02B7/18 Z

Fターム (26件)：

2H041AA23 ,  2H041AB38 ,  2H041AC01 ,  2H041AC02 ,  2H041AC04 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ06 ,  2H042DD11 ,  2H043CD00 ,  2H087KA21 ,  2H087NA01 ,  2H087NA05 ,  2H087NA09 ,  2H087TA02 ,  2H097AA02 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046DA13 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03