特許
J-GLOBAL ID：200903098396603905
集束超音波発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
永井 利和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060189
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：
【要約】【目的】 高次モード円形たわみ振動板から発生せしめられる放射超音波を、小型で簡易な構造によって単峰性音波ないし焦点集中音波として集束させる集束超音波発生装置を提供し、高性能な超音波クリーナや微細加工装置等を実現する。【構成】 高次モードで振動するたわみ振動板1の中央領域の放射音波を所定間隔で対向配置された円形反射板2で往復反射させ、その往復反射して側周へ伝播する超音波とたわみ振動板1から直接放射される超音波を円筒形反射板3で反射させ、更に円筒形反射板3の反射音波を円錐形反射板4の周面で反射させることにより法線Z方向に集束せしめられた平行音束を得る。また、円錐形反射板4の周面を回転放物面とする、又は円錐形反射板4を用いずに円筒形反射板3の内面を回転放物面とすることで強力な焦点集中音場を得る。
請求項（抜粋）：
集束超音波発生装置において、中心に振動駆動源が取付けられた高次モード円形たわみ振動板を超音波発生源とし、前記たわみ振動板の中心を通る法線を共通の中心軸として、前記たわみ振動板の直径より小さい直径の円形・平面状の反射面を有し、前記たわみ振動板から発生する超音波の放射角をθ、同超音波の波長をλaとした場合に、その反射面を前記たわみ振動板と[m・λa/2cosθ](但し、mは整数)の距離を隔てて平行に対向配置させた第1反射部と、前記たわみ振動板の周縁部から前記第1反射部の配置側空間を囲む円筒状反射面を有した第2反射部と、頂角がθである円錐状反射面を有し、その頂角側を超音波出力方向へ向けて前記第2反射部の円筒状反射面で反射した超音波が伝播する空間内に配置させた第3反射部を固設したことを特徴とする集束超音波発生装置。
IPC (3件)：
B06B 3/00
, B06B 1/06
, B08B 3/12
