温冷浴洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永田良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227910
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055152
出願日： 1992年08月03日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】一つの洗浄槽内でワークの温浴洗浄処理と冷浴洗浄処理とを連続して行うことのできる温冷浴洗浄装置を提供する。【構成】洗浄槽内の上方貯液領域に貯液された高温の洗浄液中と、同洗浄槽内の下方貯液領域に貯液された低温の洗浄液中とにワーク全体を順次浸漬して、上下貯液領域に貯液された同一洗浄液の温度差によりワーク全体を膨脹収縮させ、ワークの隙間部分に洗浄液を侵入させて研磨粉、フラックス、油分等の異物を洗浄除去する。或いは、ワーク浸漬時に於いて、洗浄槽の底部に配設した超音波振動子を振動させて超音波洗浄するもよく、一つの洗浄槽内でワークの温浴洗浄処理と冷浴洗浄処理とが連続して行え、処理能力の向上及び装置の小型化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

洗浄室内の洗浄槽に貯液された洗浄液中にワーク全体を浸漬して洗浄処理する洗浄装置であって、上記洗浄槽内の上方貯液領域に高温の洗浄液を所定量貯液し、該洗浄槽内の下方貯液領域に低温の洗浄液を所定量貯液した温冷浴洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/10 , H01L 21/304 341 , H05K 3/26

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-198032
特開平1-115124
特開平2-130827

審査官引用 (1件)

特開平1-198032

前のページに戻る