特許

J-GLOBAL ID：200903098399362240

排除駆動式SMIFポッド・パージ・システム

発明者： フォスナイト ウィリアム ジェイ ,  ボノラ アントニー シー ,  マーティン レイモンド エス ,  タトロ ジェイ
出願人/特許権者： アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-541069
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510150
出願日： 1999年03月22日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】 ポッド(21)内のウェーハから汚染物質及び/又は微粒子を除去するために均質な、制御されかつ効率的なパージ気体流速及びフロー・パターンを供給するシステム。パージ・システムは、インタフェースにおける漏れを実質的な防ぐために気体インレットと除去ライン(23、25)の間のインタフェースにおいてシールを含む。

請求項（抜粋）：

ポッドを通る制御されかつ均等な気体のフローを供給するパージ・システムであって、 加圧気体を受取ることできるポッドへのインレットと、 気体を前記ポッドから低圧源へ引出させることができる該ポッドからのアウトレットと、 前記ポッドから引き出された前記気体の流速を制御することによって前記ポッドを通るフローを制御する手段と、を備えていることを特徴とするパージ・システム。

Fターム (7件)：

5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031NA10 ,  5F031NA16 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特表平6-501815