特許
J-GLOBAL ID：200903098400595505
放電プラズマを利用した表面処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-106067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298318
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 雰囲気ガスの種類を問わず、大気圧近傍の圧力の下で、均一で、安定した放電プラズマを発生させて、表面処理を更に高速にする方法を提供する。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下で、対向する一対の電極4、5の少なくとも一方の対向面に固体誘電体6を設置し、当該一対の対向電極4、5間にパルス電界を印加して得られるガス放電において、前記パルス電界の正電位の大きさを負電位の大きさの1.5倍以上にすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
大気圧近傍の圧力下で、対向する一対の電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該一対の対向電極間にパルス電界を印加して得られるガス放電において、前記パルス電界の正電位の大きさを負電位の大きさの1.5倍以上にすることを特徴とする放電プラズマを利用した表面処理方法。
IPC (4件)：
C08J 7/00 306
, C08J 7/18
, C23C 16/50
, H05H 1/46
C08J 7/00 306
, C08J 7/18
, C23C 16/50
, H05H 1/46 A
