特許
J-GLOBAL ID：200903098400778090
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185428
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010140
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡で、高速測定と広範囲測定を同時に行えるようにする。【解決手段】 探針15を備えたカンチレバー13、試料・探針の位置を相対的に変化させるXYZ微動機構11を備え、XYZ微動機構で表面走査と探針・試料間距離調整を行い、カンチレバーのたわみ量を制御し試料表面の物理情報を得る。さらにカンチレバーの圧電薄膜16と、カンチレバーを所定周波数で振動させる第1信号発生器21と、カンチレバーにたわみ変形を生じさせる第2信号発生器26と、検知装置(22,23) と、カンチレバーの振動振幅等が一定になるように探針・試料間距離を制御するサーボ制御機構(25,26,24)を備える。当該制御は、圧電薄膜によるカンチレバーのたわみ変形とZ微動機構部11b の組み合わせによって行われる。
請求項（抜粋）：
試料に臨む探針を備えたカンチレバーと、前記試料と前記探針の相対的位置を変化させる第1微動機構と、カンチレバー変位検出手段とを備え、前記第1微動機構によって前記探針が前記試料の表面を走査しかつ探針・試料間の距離を調整し、走査の間、前記第1微動機構のための第1制御手段によって、前記探針と前記試料の間の相互作用に基づき生じる前記カンチレバーのたわみ量を制御することで前記試料の表面における物理情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記第1微動機構の共振点より高い共振点を有する第2微動機構を設け、前記試料と前記探針の距離を、前記第1制御手段と、前記第2微動機構の動作を制御する第2制御手段との組み合わせによって変化させるように構成し、前記第1制御手段から得られる信号と前記第2制御手段から得られる信号を加算して前記物理情報を得るようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
