特許
J-GLOBAL ID：200903098405849149
露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-085084
公開番号（公開出願番号）：特開2005-276932
出願日： 2004年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】投影光学系の光学性能を低下させることが無く、長期間に渡り、高精度な露光を行う。【解決手段】照明光ELを反射型マスクRに対して所定の入射角で入射させる特定ミラーMcが投影ユニットPUを保持するボディ26とは物理的に分離した照明系保持架台56で保持されている。このため、照明光の照射に起因する特定ミラーの発熱(温度上昇)が生じても、その熱が投影ユニット内の投影光学系を構成する光学部材に熱伝導によって伝播するのが抑制される。これにより、光学部材の熱変形に起因する投影光学系の光学性能(結像特性を含む)の低下を効果的に抑制することが可能になる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
反射型マスクを介した照明光で感光物体を露光し、前記反射型マスクに形成されたパターンを前記感光物体上に転写する露光装置であって、
照明光を前記反射型マスクに対して所定の入射角で入射させる特定ミラーを含む照明光学系と;
前記反射型マスクから射出された前記照明光を感光物体上に投射する投影光学系を有する投影ユニットと;
前記投影ユニットを保持するボディと;
前記照明光学系を構成する前記特定ミラーを含む複数の光学部材を保持し、前記ボディとは物理的に分離した照明系保持架台と;を備える露光装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B19/00
, G03F7/20
H01L21/30 531A
, G02B19/00
, G03F7/20 521
, H01L21/30 502H
, H01L21/30 517
2H052BA03
, 2H052BA07
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046CB23
, 5F046DA01
, 5F046DA26
, 5F046DB02
, 5F046DC02
, 5F046GA03
, 5F046GA14
, 5F046GB01
