特許
J-GLOBAL ID:200903098409538628

トリシラアルカン化合物の熱分解によるβ型炭化ケイ素微細粉末の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 津国 肇 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-005949
公開番号(公開出願番号):特開平7-206418
出願日: 1994年01月24日
公開日(公表日): 1995年08月08日
要約:
【要約】【構成】 クロロメチル基を有するメチルクロロシランを銅触媒の存在下で金属ケイ素と反応させるとメチルクロロトリシラアルカン(I)(III)が得られ、これらをLiAlH4 又はNaHと反応させるとケイ素と塩素の結合がケイ素と水素の結合に変換されメチルトリシラアルカン(II)(IV)が得られる。これら(I)〜(IV)のトリシラアルカンはそれぞれ単独で、または二つ以上混合して、水素又はアルゴンのような気体で50%以下に希釈し、750〜1600°Cで熱分解する。【化4】【効果】 球形のβ型炭化ケイ素微細粉末が得られる。
請求項(抜粋):
一般式(I)、(II)、(III)及び(IV)の化合物から選ばれるトリシラアルカンの単独又は二つ以上の混合物を運搬気体中で熱分解することを特徴とするβ型炭化ケイ素微細粉末の製造方法、【化1】(一般式(I)中、R1 、R2 及びR3 は独立的にCH3 又はClを表し、一般式(II)中、R1 、R2 及びR3 は独立的にCH3 又はHを表し、一般式(III)中、R1 、R2 及びR3 は独立的にCH3 又はClを表し、R3 は独立的にH又はClを表し、一般式(IV)中、R1 及びR2 は独立的にCH3 又はHを表す)
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平1-061307

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