特許

J-GLOBAL ID：200903098412074756

映像信号入力方法、映像信号入力装置、位置検出装置及び露光装置

発明者： 古賀 慎一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229890
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045778
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 少ない撮像時間または映像の加算回数によりスペックル等の影響を所望の量まで軽減し、基板の位置ずれを高精度で検出する。【解決手段】 パルス光により照明した像を映像信号としてCCDカメラ9により撮像する撮像工程と、該撮像工程で撮像した映像信号を信号処理回路11がメモリに加算入力する映像加算工程と、該映像加算工程で加算した映像信号の部分領域における光量を光量検出器17で計測する光量計測工程と、該光量計測工程で計測した光量が所定の条件を満たすまで該撮像工程と該映像加算工程と該光量計測工程を繰り返す制御を行う制御工程を有する。該制御工程は、該光量計測工程間での部分領域の光量変化が所定の量以下になるまで該撮像工程と該映像加算工程と該光量計測工程を繰り返す。

請求項（抜粋）：

パルス光により照明した像を映像信号として撮像する撮像工程と、該撮像工程で撮像した映像信号をメモリに加算入力する映像加算工程と、該映像加算工程で加算した映像信号の部分領域における光量を計測する光量計測工程と、該光量計測工程で計測した光量が所定の条件を満たすまで該撮像工程と該映像加算工程と該光量計測工程を繰り返す制御を行う制御工程を有することを特徴とする映像信号入力方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 9/00 ,  G01B 11/00

FI (5件)：

G03F 7/20 502 ,  G03F 9/00 H ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (25件)：

2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2H097CA13 ,  2H097GB01 ,  2H097KA03 ,  2H097LA10 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046EB03 ,  5F046FA05 ,  5F046FA09 ,  5F046FA16 ,  5F046FB10 ,  5F046FC03