静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-103130
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314735
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【構成】静電チャックの絶縁体1における無電極部1cの表面に段部1dを備える。【効果】無電極部1cの残留電荷を無くし、離脱時に電気制御を行うことで残留吸着力を解消することができる。したがって、高電圧を印加して高吸着力を発生させても、離脱性の低下がないことから、ウェハの反り矯正や冷却・加熱効果を充分に得ることができ、半導体チップの高品質、高生産に寄与することができる。

請求項（抜粋）：

静電電極を備えた絶縁体に吸着面を形成して成る静電チャックにおいて、上記絶縁体における静電電極の存在しない無電極部の表面に段部を備えたことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-162443
特開平2-067745
特開平4-147642

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