特許
J-GLOBAL ID:200903098415235246
近接場光検出光学系、近接場光学装置、およびそれらを用いた光学情報の検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-200259
公開番号(公開出願番号):特開2002-014028
出願日: 2000年06月30日
公開日(公表日): 2002年01月18日
要約:
【要約】【課題】 ノイズレベルが低く鮮明な光学コントラストが得られる近接場光検出光学系を提供し、光記録再生装置および近接場光学顕微鏡の再生分解能を向上する。【解決手段】 先端に光学開口とその周囲を被覆する反射体が設けられた光学プローブ(8)と、直線偏光の光ビームを光学プローブ(8)を導波させ、光学開口から近接場光を生成させて被検体(9)表面に入射する手段と、被検体(9)からの反射光を光学開口から光学プローブ(8)を通じて検出素子(13)に導く手段と、検光子(12)を備えた検出素子(13)とを有する。
請求項(抜粋):
先端に光学開口とその周囲を被覆する反射体が設けられた光学プローブと、直線偏光の光ビームを、前記光学プローブを導波させ、前記光学開口から近接場光を生成させて被検体表面に入射する手段と、前記被検体からの反射光を、前記光学開口から前記光学プローブを通じて検出素子に導く手段と、検光子を備えた検出素子とを具備したことを特徴とする近接場光検出光学系。
IPC (6件):
G01N 13/14
, G01N 13/10
, G02B 21/00
, G11B 7/135
, G11B 11/105 551
, G11B 11/105 566
FI (7件):
G01N 13/14 A
, G01N 13/10 G
, G02B 21/00
, G11B 7/135 Z
, G11B 7/135 A
, G11B 11/105 551 A
, G11B 11/105 566 C
Fターム (15件):
2H052AA07
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AC34
, 2H052AD20
, 2H052AF13
, 2H052AF25
, 5D075AA03
, 5D075CD14
, 5D119AA12
, 5D119BB01
, 5D119BB04
, 5D119BB05
, 5D119JA34
引用特許:
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