特許
J-GLOBAL ID：200903098419182937
三次元測定器による測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264906
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120238
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 光をスリットを通じて被測定物に投射し、該被測定物の表面に映出されるスリット状の光反射領域の受像に基づいて、上記被測定物の表面形状を測定するときに、スリット状の光反射領域にハレーションが生じた場合の測定誤差の発生を防止し得る三次元測定器による測定方法を提供する。【構成】 受像手段により検出されたスリット状の光反射領域におけるスリット幅方向の輝度分布から、該光反射領域を正常領域とハレーション領域とに分別し、上記正常領域に適した絞り調整を施した該正常領域に関する画像データと、上記ハレーション領域に適した絞り調整を施した該ハレーション領域に関する画像データとから、上記光反射領域に関する画像データを得る。
請求項（抜粋）：
光をスリットを通じて被測定物に投射し、該被測定物の表面に映出されるスリット状の光反射領域の受像に基づいて、上記被測定物の表面形状を測定するようにした三次元測定器による測定方法において、受像手段により検出された上記スリット状の光反射領域におけるスリット幅方向の輝度分布から、該光反射領域を正常領域とハレーション領域とに分別し、上記正常領域に適した絞り調整を施した該正常領域に関する画像データと、上記ハレーション領域に適した絞り調整を施した該ハレーション領域に関する画像データとから、上記光反射領域に関する画像データを得ることを特徴とする三次元測定器による測定方法。
IPC (2件)：
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