特許
J-GLOBAL ID：200903098421510216
エッチング装置及びエッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254299
公開番号（公開出願番号）：特開平7-111257
出願日： 1993年10月12日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】この発明は、ウェットエッチングの際にエッチングを施さない面に保護マスクを不要として、保護マスクの形成及び除去工程を省略し、製造工程を減少でき、また保護マスクの除去工程において、形成された微小構造体が破損する危険をなくすことを主要な目的とする。【構成】基板(32)をウェットエッチングする際に用いられるエッチング装置において、基板(32)を裏面側から支持する、前記基板(32)より形状の大きい支持治具(31)と、前記基板(32)を表面側から前記支持治具(31)側に押え、前記基板(32)及び支持治具(31)に接する箇所に夫々可撓性樹脂からなるOリング(35 ,36) を取り付けた押え治具(34)とを具備することを特徴とするエッチング装置及びエッチング方法。
請求項（抜粋）：
基板をウェットエッチングする際に用いられるエッチング装置において、基板を裏面側から支持する、前記基板より形状の大きい支持治具と、前記基板を表面側から前記支持治具側に押え、前記基板及び支持治具に接する箇所に夫々可撓性樹脂からなるOリングを取り付けた押え治具とを具備することを特徴とするエッチング装置。
FI (2件)：
H01L 21/306 J
, H01L 21/306 B
